精密光學(xué)真空鍍膜機(jī)

TSV1300型精密光學(xué)真空鍍膜

TSV1500精密光學(xué)真空鍍膜

TSV2050精密光學(xué)真空鍍膜

TSV900精密光學(xué)真空鍍膜

TSV550研發(fā)專用電子束蒸發(fā)真空鍍膜

應(yīng)用范圍

該設(shè)備專門為精密光學(xué)薄膜器件鍍膜生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等。采用e型電子槍蒸發(fā)源，可整發(fā)各種高熔點(diǎn)金屬和氧化物，可在玻璃、塑料、陶瓷基體上鍍制各種多層薄膜，如：紅外膜、寬帶增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干涉截止濾光片、偏振膜、電學(xué)膜，適用于眼鏡、光學(xué)鏡頭、精密光學(xué)元件、激光和電子行業(yè)的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。

主要特點(diǎn)

電子槍輸出功能穩(wěn)定，特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)有效杜絕二次電子的產(chǎn)生和電子槍打火。

轉(zhuǎn)動(dòng)采用磁流動(dòng)引入，長期運(yùn)轉(zhuǎn)密封可靠。

工件轉(zhuǎn)動(dòng)座多重水冷和重力導(dǎo)向設(shè)計(jì)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠，徑向和軸向跳動(dòng)3-5mm。

采用PLC+觸摸屏控制，多重泵閥水電